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简要描述:腐蚀性气体分析质谱仪HPR-80( Reactive/Corrosive Species Analyzer)是专为活泼性、腐蚀性气体分析和半导体、真空过程研究而设计的仪器,快速、定量分析活泼性、腐蚀性气体,如反应中间产物,HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等强腐蚀性与半导体工艺气体。
品牌 | 其他品牌 | 最小检测分压 | 5E-14 mbar |
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检测限 | 5ppb | 质量数范围 | 510amu |
价格区间 | 100万-150万 | 产地类别 | 进口 |
应用领域 | 化工,电子,冶金,航天,电气 |
20年前,Hiden在期刊《Physics Today》今日物理学杂志发布了HPR-80腐蚀性气体分析质谱仪,初期主要应用于半导体行业的特气检测,如毒性气体AsH3、B2H6、PH3等,强腐蚀性气体如如HCI、HF、CIF3等,强氧化性气体如CIF3、NF3等。
20年来,Hiden在这一细分领域具有强大的九游会·登录大厅力,针对不同程度的腐蚀气体分析,提供不同的解决方案。
HPR-80腐蚀性气体分析质谱仪非常适用于分析腐蚀性气体,HF,HCl,HBr和卤代烃气体工艺产生的反应产物。
主要特点:
1、连接件电抛光工艺处理
2、取样压力:1mTorr to 1000Torr
3、高灵敏度三级过滤四极杆
4、检测限可达 5 ppb
5、QGA专业版定量分析软件
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