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简要描述:ESPion高级朗缪尔探针(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、准确地进行等离子体诊断,是先进可靠的Langmuir探针。
品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 能源,电子 |
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ESPion高级朗缪尔探针(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、准确地进行等离子体诊断,是先进可靠的Langmuir探针。
·Hiden在被动射频补偿方面处于较高地位,在所有的商业化探针中 ESPion具有高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm)
·参考探针补偿用于抵制较低频率影响,例如等离子体电位漂移(如,反应室内腔阳极氧化所致) 或噪音(如,供电源引起)。
·高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链,使用者可调谐至其他频率。
·获得数据速度:15scans/s
·通过D-O-E-界面可以自动/半自动/手动分析
·300、600、915mm 自动线性驱动器可选,互锁隔离阀
·90°探针,组合式线性-旋转驱动器可选
·ESPion 是所有商业化探针中快速的脉冲等离子体探针
·ESPsoft 包括所有必需的标准脉冲选通电路
·自清洗循环,防止探针污染
·等离子体诊断经由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft软件控制
上一九游会·登录大厅:ABR穿透曲线测试
下一九游会·登录大厅:TOF-qSIMS飞行时间二次离子质谱仪
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